SEM-EDS是一种组合检测设备，结合了扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscopy)和能量散射光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)。
▶文昌扫描电镜(SEM)+能谱仪(EDS)介绍：
扫描电子电镜(SEM)是介于透射电镜和文昌光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，通过收集器和影像放大镜对这些信息进行收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
文昌扫描电子显微镜(SEM)能够利用高能电子束扫描样品表面，通过电子与样品原子相互作用所产生的各种信号，诸如二次电子、背散射电子等。这些信号会被探测器捕捉并转换成图像，通过这些图像可以揭示样品的表面形貌和结构信息。
扫描电子显微镜(SEM)是一种使用电子束扫描样品表面以实现高倍率成像的设备。它利用发射电子束来扫描样品表面，通过多种相互作用获得样品的形态、成分及晶体结构等信息。
能谱仪(EDS)是一种器械，用于分析样品中的元素种类和含量。它是通过检测电子束与样品互动时所产生的X射线，根据能量分布的差异来区分各种元素，并计算各元素的相对含量。
能谱仪(EDS)需在真空室条件下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，可定性与半定量分析样品表面微区的成分(即元素周期表中B-U的元素)。需注意的是EDS只能测元素种类和含量，不能做化合物结构和种类的判定。
▶文昌扫描电镜(SEM)+能谱仪(EDS)应用：
广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。具体如下：
1.微观形貌观察及尺寸测量
如断口显微形貌观察，电子产品内部结构观察，表面形貌观察，镀层厚度测量，锡须长度测量等。
2.材料微观结构观察
如金属材料的晶粒及晶界分析，铸铁材料石墨形态分析，钢铁材料的金相观察，纳米材料分析等。
3.微区成分分析
利用电子束与物质作用时产生的特征X射线，表征材料元素方面的信息，可定性、半定量B-U的元素。
4.定位测试点
如在失效分析中可以用来定位失效点，在异物分析中可以用来定位异物点。
